يمكن تقسيم فشل معدات الفرن الفراغي تقريبًا إلى تسرب النظام ، وفشل إمداد البخار ، وفشل الصمام ، وفشل المكثف ، وفشل المضخة الفراغ ، وفشل الأداة ، وخطأ في وضع الوضع ، إلخ.